一，噴氦法
被檢件與氦質譜檢漏儀相連，用檢漏儀的真空系統對被檢件的腔體抽真空，在被檢件外噴氦氣，若有漏孔，氦氣通過漏孔進入檢漏儀被檢測而顯示有漏。由于檢漏儀的響應很快（一般短于3秒），在漏率顯示突然增高的一刻的噴氦位置就是漏孔的位置。

大容積試件的抽空檢漏
被檢試件的容積較小時，可以直接連到檢漏儀，抽空檢漏。但是當試件容積太大（100立升以上）時，由于表面積大，放氣多，也可能有大漏，單靠檢漏儀自身的排氣系統，可能長時間抽不到可以轉入檢漏的真空。這種情況，常外接一輔助真空系統。

二，背壓法
所謂背壓法，是指被檢試件充滿氦氣，或以某種方式注入氦氣，然后放入一個與檢漏儀相連，可抽空的真空箱內，試件若有泄漏，漏出的氦氣直接進入檢漏儀，而被檢測。被壓法檢測的是總漏率，它不能確定漏孔位置。

三，吸入法
被檢件充入高于大氣壓的探索氣氦，檢漏儀的檢漏口連接稱之為吸槍的氣體采集器。當試件有漏時，泄漏的氦氣被吸槍吸入檢漏儀，而被檢測。吸槍在試件表面移動，同時注視檢漏儀漏率指示的變化，一旦泄漏增加，吸槍所指位置即漏點所在。因此吸槍法也是能確定漏孔的檢漏方法。

四，真空箱法
真空箱用不銹鋼制作，內表面有高的光潔度，可減少氦吸附。真空箱檢漏法特別試用于被檢試件內部結構復雜、放氣量大、試件批量大、漏率要求嚴格和檢漏節拍快等場合（如制冷壓縮機、閥、歧管等）,是工業規模生產最常用的檢漏方法。